机构

• 沈阳自动化研究所 [3]
• 自动化研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 期刊论文 [4]

发表日期

• 2022 [1]
• 2012 [3]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 非线性快速批次过程高效迭代学习预测函数控制 期刊论文  OAI收割 自动化学报, 2022, 卷号: 48, 期号: 2, 页码: 515-530 作者:  马乐乐;  刘向杰   |  收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2024/05/20 轨迹线性化  预测函数控制  迭代学习控制  快速非线性批次过程  计算复杂度   基于神经网络的CMP过程智能R2R预测控制 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 4, 页码: 305-311 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：37/0  |  提交时间：2012/10/24 化学机械研磨  径向基函数神经网络  预测控制  批次控制  微粒群滚动优化   基于LS-SVM的光刻过程R2R预测控制方法 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2012, 卷号: 37, 期号: 6, 页码: 482-488 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2012/10/24 光刻过程  关键尺寸  最小二乘支持向量机  预测控制  批次控制  微粒群算法   基于模糊模型的CMP过程智能R2R预测控制方法 期刊论文  OAI收割 计算机测量与控制, 2012, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 1558-1561 作者:  胡静涛 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/12/28 化学机械研磨  T-S模糊模型  批次控制  预测控制  克隆选择