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浏览/检索结果: 共28条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022 作者:  杨超   |  收藏  |  浏览/下载：103/0  |  提交时间：2022/10/08 光学设计，投影光刻物镜，波像差，像质补偿   自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文  OAI收割 光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79 作者:  孙彦杰;  刘华;  李金环;  陆子凤;  张莹   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2020/08/24 数字微镜阵列  扫描光刻  自由曲面光学透镜  成像线性错位  图形边缘  投影成像系统   193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文  OAI收割 中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581 作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑   |  收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2018/04/09 集成电路  光刻  投影物镜  波像差  调节机构  主动光学   全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643 作者:  刘健;  张春雷;  徐乐;  马占龙;  王飞   |  收藏  |  浏览/下载：41/0  |  提交时间：2017/09/17 氟化钙  投影光刻物镜  精密光学加工  亚纳米精度加工  离子束修形(Ibf)   深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者:  姚长呈   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/09/17 光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差   掩模位置误差对光刻投影物镜畸变的影响 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 3, 页码: 469-476 作者:  杨旺;  黄玮;  尚红波 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2017/09/17 光刻  光学设计  光刻投影物镜  畸变  勒让德多项式  公差分析   精密光学系统的热像差 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040 作者:  张巍;  于新峰;  周连生;  王学亮;  倪明阳 收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2016/07/06 精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差   高数值孔径投影光刻物镜波像差的自动平衡优化 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 08, 页码: 2143-2148 作者:  徐明飞;  黄玮 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/07/06 投影物镜  光刻物镜  波像差  光学设计  自动优化   投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  陈昌龙 收藏  |  浏览/下载：61/0  |  提交时间：2015/07/30 光学投影光刻  检焦系统  线阵CCD  Camera Link  图像细分算法   膜系引入偏振像差对投影光刻物镜设计的影响与改进 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 01, 页码: 346-353 作者:  尚红波;  刘春来;  张巍;  陈华男 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/07/06 光学制造  投影光刻物镜  膜系  偏振像差  对比度