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自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘 期刊论文 OAI收割
光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79
作者: 孙彦杰; 刘华; 李金环; 陆子凤; 张莹

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LED微阵列投影系统设计 期刊论文 OAI收割
中国光学, 2019, 卷号: 12, 期号: 01, 页码: 88-96
作者: 冯思悦; 梁静秋; 梁中翥; 吕金光; 陶金

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微缩投影系统的垂轴放大率测量 期刊论文 OAI收割
光学精密工程, 2016, 期号: 1
作者: 谢耀; 王丽萍; 郭本银; 王君; 苗亮

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同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文 OAI收割
光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118
作者: 徐象如; 黄玮; 贾树强; 徐明飞

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光学投影断层成像系统开发和算法研究 学位论文 OAI收割
工学硕士, 中国科学院自动化研究所: 中国科学院大学, 2015
杨玉洁

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光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文 OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者: 田伟; 章明朝; 隋永新; 苏东奇; 杨怀江

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共轭距可变的光刻投影物镜光学设计 期刊论文 OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者: 蔡燕民; 王向朝; 黄惠杰

收藏 | 浏览/下载：31/0 | 提交时间：2016/11/28

共轭距可变的光刻投影物镜光学设计 期刊论文 OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者: 蔡燕民; 王向朝; 黄惠杰

收藏 | 浏览/下载：29/0 | 提交时间：2016/11/28

共轭距可变的光刻投影物镜光学设计 期刊论文 OAI收割
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 416003
作者: 蔡燕民; 王向朝; 黄惠杰

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空间凝视相机地面检测方法及关键技术研究 学位论文 OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2011
作者: 谢巍

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