机构

• 上海微系统与信息技术... [3]
• 半导体研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [4]

内容类型

• 会议论文 [2]
• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2003 [3]

学科主题

• 半导体器件 [1]
• 微电子学 [1]

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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 基于洛伦兹力的MEMS大位移驱动器及其应用研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院大学, 2016 吕兴东 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/06/02 MEMS驱动器  洛伦兹力  折叠梁  大位移  可变光衰减器  射频开关   8mm芯片集成接收机仿真与研制 期刊论文  OAI收割 红外与毫米波学报, 2003, 期号: 04 程知群; 孙晓玮; 钱蓉 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2012/01/06 微陀螺  折叠梁  有限元分析   电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计 会议论文  OAI收割 第八届敏感元件与传感器学术会议, 2003 宋朝辉; 贾孟军; 李昕欣; 陈志龙 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2012/01/18 微陀螺 折叠梁 有限元分析   电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计 会议论文  OAI收割 中国微米/纳米第六届学术年会, 2003 宋朝辉; 贾孟军; 李昕欣 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2012/01/18 微陀螺 折叠梁 有限元分析 电容检测 振动质量 模态频率