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大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2020, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 178-187
作者:
巩畅畅
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范斌
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2021/05/11
接触式曝光
掩模版
形变量
大口径衍射透镜
高平面度
X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真
期刊论文
OAI收割
微细加工技术, 2004, 期号: 3, 页码: 19-23,28
作者:
王永坤
;
余建祖
|
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2010/05/26
X射线掩模
掩模形变
背面刻蚀
有限元
平面内形变
非平面形变
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