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大口径石英基底衍射透镜的高精度制备方法 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2020, 卷号: 49, 期号: 5, 页码: 178-187
作者:  
巩畅畅;  范斌
  |  收藏  |  浏览/下载:37/0  |  提交时间:2021/05/11
X射线光刻掩模背面刻蚀过程中的形变仿真 期刊论文  OAI收割
微细加工技术, 2004, 期号: 3, 页码: 19-23,28
作者:  
王永坤;  余建祖
  |  收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2010/05/26
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