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• 上海光学精密机械研究... [2]
• 光电技术研究所 [1]

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• OAI收割 [3]

内容类型

• 学位论文 [3]

发表日期

• 2015 [2]
• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 倾斜/旋转紫外光刻技术研究 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  何骏 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2016/11/28 倾斜/旋转紫外光刻  仿真模型  MEMS  衍射  掩模优化   极紫外光刻掩模建模与缺陷补偿方法研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015 作者:  刘晓雷 收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2016/11/28 极紫外光刻  掩模模型  缺陷补偿  图形偏移  吸收层修正   连续深浮雕微光学元件研究及应用 学位论文  OAI收割 博士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2000 曾红军 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2013/11/19 连续深浮雕微光学元件  衍射追迹模型  掩模移动  二次精密成形