机构

• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1995 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用TEOSPECVD氧化硅做掩蔽层选择性生长金刚石薄膜 期刊论文  OAI收割 华东师范大学学报(自然科学版), 1995, 期号: 04 何奕骅; 许春芳; 范焕章; 孙卓; 王学军; 郑志豪; 朱建中; 杨申仲 收藏  |  浏览/下载：67/0  |  提交时间：2012/03/29 K1 金刚石  选择性  PETEOS氧化硅  掩蔽层  衬底温度  成核密度