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• 长春光学精密机械与物... [1]
• 高能物理研究所 [1]

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• 期刊论文 [2]

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• 2018 [1]
• 2008 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 探讨用最巨大仪器研究最微小粒子(四) nm工艺流程仪器及代工全球60%芯片制造的tsmc-OEM模式制造“智能”(上) 期刊论文  OAI收割 仪器仪表标准化与计量, 2018, 期号: 4, 页码: 1-8 作者:  沈经   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/09/24 光刻  电子束摇摆器  极紫外  离子束注入参杂  晶圆  大规模集成电路  原始设计制造商  原始设备制造商  原始品牌制造商  台积电-OEM模式   摇摆台负载自适应技术研究 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2008, 期号: 8 陈洪立; 翟林培; 肖占全 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/09/25 自适应能力  摇摆台  转动惯量  自动测量