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合肥物质科学研究院 [2]
电子学研究所 [1]
上海微系统与信息技术... [1]
采集方式
OAI收割 [4]
内容类型
期刊论文 [3]
学位论文 [1]
发表日期
2009 [2]
2008 [1]
2006 [1]
学科主题
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共4条,第1-4条
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一种厚膜电容式压力敏感芯片
期刊论文
OAI收割
仪表技术与传感器, 2009, 卷号: 000
作者:
常慧敏
;
李民强
;
王英先
;
关柯
;
高理升
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提交时间:2020/11/25
厚膜
电容式
压力敏感芯片
基于MEMS的光纤加速度计的研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2008
曾凡林
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提交时间:2012/03/06
MEMS
光纤加速度计
双光纤准直器
敏感芯片
噪声
基于Ppy敏感膜的pHISFET研制
期刊论文
OAI收割
仪器仪表学报, 2006, 卷号: 27, 期号: 6, 页码: 1065-1066
汪祖民
;
孙红光
;
韩泾鸿
;
边超
;
陈绍凤
;
夏善红
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提交时间:2010/05/19
离子敏场效应管
聚吡咯
敏感膜
集成化芯片系统