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应用于工具镀膜的磁场辅助离子镀弧源及其放电特性分析 期刊论文  OAI收割
真空, 2015, 期号: 1, 页码: 39-44
郎文昌; 徐焱良; 杜昊; 肖金泉; 高斌; 吴百中
收藏  |  浏览/下载:41/0  |  提交时间:2015/05/11
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