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基于掩膜—无掩膜腐蚀技术的AFM探针制作方法研究 学位论文  OAI收割
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
韩建强  
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2012/03/06