机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 用于100nm节点ArF准分子激光光刻的相移掩模技术 期刊论文  OAI收割 光电工程, 2004, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 1-4,39 作者:  陈宝钦;  冯伯儒;  张锦;  宗德蓉;  刘娟   |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2010/05/26 激光光刻技术  相移掩模  准分子光刻  无铬相移掩模  交替相移掩模  衰减相移掩模  混合相移掩模