机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 软X射线投影光刻技术及其发展(续) 期刊论文  OAI收割 物理实验, 2002, 期号: 06, 页码: 3-6 作者:  金春水 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/03/11 软X射线:6714  投影光刻:5104  多层膜:4818  反射式:1137  光刻胶:1091  软X射线照射:949  掩膜技术:901  反射率:875  光学系统:601  易氧化材料:561