机构

• 上海光学精密机械研究... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 一种高性能硅片曝光场分布优化算法 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 403, 408 何乐; 王向朝 收藏  |  浏览/下载：1269/221  |  提交时间：2009/09/18 激光技术  光刻技术  曝光场分布  寻优算法  产率  良率