机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819 作者:  黄剑波;  王鹤;  王尧;  卢振武;  刘华 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2015/04/17 绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅