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长春光学精密机械与物... [3]
采集方式
OAI收割 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2017 [1]
2016 [1]
2012 [1]
学科主题
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共3条,第1-3条
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扫描干涉场曝光系统中光束对准误差及其控制
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2017, 页码: 247-256
作者:
王玮
;
巴音贺希格
;
潘明忠
;
宋莹
;
李文昊
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/04/09
光学设计
光栅
扫描干涉场曝光
光束对准
曝光对比度
位置解耦
角度解耦
干涉条纹相位变化对平面全息光栅曝光的影响
期刊论文
OAI收割
激光技术, 2016, 期号: 3, 页码: 339-343
作者:
宋莹
收藏
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2017/09/17
光栅
光栅曝光
数值计算
条纹相位变化
曝光对比度
掩模槽形
全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2012, 期号: 03, 页码: 9-15
韩建
;
巴音贺希格
;
李文昊
;
孔鹏
收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2013/03/11
光栅
曝光量
条纹对比度
占宽比
槽深