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	2_m级望远镜主动调节侧向支撑机构设计与优化期刊论文 OAI收割红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 08, 页码: 172-177 作者: 高则超; 郝亮; 王富国; 张丽敏; 王瑞 \| 收藏 \| 浏览/下载：97/0 \| 提交时间：2020/08/24 SiC主镜侧向支撑杠杆系统主动调节
	大行程MEMS面外驱动器的设计与分析学位论文 OAI收割硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 任豪收藏 \| 浏览/下载：93/0 \| 提交时间：2014/12/11 微机电系统静电力面外驱动器大行程表面微加工杠杆原理
	一种新颖的微杠杆结构的理论建模及其在谐振式微加速度传感器中的应用期刊论文 OAI收割传感技术学报, 2007, 卷号: 20, 期号: 2, 页码: 274-278 陈健; 陈德勇; 王军波收藏 \| 浏览/下载：25/0 \| 提交时间：2010/05/19 微机械电子系统微杠杆结构谐振式微加速度传感器有限元模拟