机构

• 光电技术研究所 [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 2011 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 新型静电驱动双向平动MEMS变形镜（英文） 期刊论文  OAI收割 纳米技术与精密工程, 2012, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 313-317 作者:  姚军;  陶逢刚;  任豪等 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2016/11/22 双向平动  MEMS  变形镜  杠杆驱动器   大行程MEMS面外驱动器的设计与分析 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011 任豪 收藏  |  浏览/下载：98/0  |  提交时间：2014/12/11 微机电系统  静电力  面外驱动器  大行程  表面微加工  杠杆原理