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Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:  孙诗壮;  金春水;  喻波;  郭涛;  姚舜
  |  收藏  |  浏览/下载：63/0  |  提交时间：2021/07/06
磁控溅射法制备极紫外6.8~11.0 nm波段Mo/B_4C横向梯度多层膜 期刊论文  OAI收割
强激光与粒子束, 2018, 卷号: 30, 期号: 6, 页码: 61001
作者:  朱京涛;  李淼;  朱圣明;  张嘉怡;  冀斌
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/09/24
基于量子遗传算法的宽带离散化极紫外多层膜的研制 期刊论文  OAI收割
光子学报, 2018, 期号: 04, 页码: 52-60
作者:  匡尚奇;  张超;  李硕;  杨海贵;  霍同林
  |  收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2019/09/17
基于云模型量子进化算法的薄膜微观结构表征 期刊论文  OAI收割
长春理工大学学报(自然科学版), 2018, 期号: 04, 页码: 20-24+30
作者:  王一名;  张超;  孙秀平;  匡尚奇;  杨海贵
  |  收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2019/09/17
极紫外宽带多层膜反射镜离散化膜系的设计与制备 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2018, 期号: 10, 页码: 2395-2406
作者:  匡尚奇;  李硕;  杨海贵;  霍同林;  周洪军
  |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/09/17
极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844
作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦
  |  收藏  |  浏览/下载：50/0  |  提交时间：2018/04/09
改进型量子进化算法在宽带EUV多层膜设计中的应用 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2017, 页码: 2046-2056
作者:  匡尚奇;  张超;  王一名;  周祥燕;  谢耀
  |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/04/09
基于量子进化算法的宽角度极紫外多层膜设计 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2017, 页码: 347-355
作者:  张超;  张杰瑞;  王一名;  匡尚奇;  谢耀
  |  收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2018/04/09
极紫外光刻照明系统宽带Mo/Si多层膜设计与制备 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2016, 期号: 4, 页码: 160-166
作者:  喻波;  李春;  金春水;  王春忠
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2017/09/17
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用 期刊论文  OAI收割
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:  王丽萍;  金春水;  喻波;  郭本银
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17