机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 恒压应力下超薄Si3N4／SiO2叠层栅介质与SiO2栅介质寿命比较 期刊论文  OAI收割 半导体学报, 2004, 卷号: 25, 期号: 12, 页码: 1717-1721 作者:  林钢;  徐秋霞   |  收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2010/05/26 恒压应力  超薄si3n4／sio2  叠层栅介质  超薄sio2栅介质  栅介质寿命预测