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机构
上海光学精密机械研究... [6]
力学研究所 [2]
微电子研究所 [1]
西安光学精密机械研究... [1]
采集方式
OAI收割 [10]
内容类型
学位论文 [6]
期刊论文 [4]
发表日期
2024 [2]
2022 [1]
2008 [2]
2005 [2]
学科主题
材料学 [2]
光学工程 [1]
光学薄膜 [1]
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浏览/检索结果:
共10条,第1-10条
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基于椭偏技术的纳米薄膜弱物理信号解析及其应用研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:
王晨昱
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2024/06/04
椭偏测量技术
光谱椭偏仪
成像椭偏传感器
小分子弱相互作用
弱应力检测
基于频率调制与分振幅解调的广义光谱椭偏技术
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2024, 卷号: 53, 期号: 4
作者:
邓仲勋
;
权乃承
;
李思远
;
张淳民
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2024/08/13
频率调制
Mueller矩阵
实时测量
椭偏技术
偏振探测
成像椭偏生物传感技术对抗体糖基水平及外泌体蛋白的检测及技术优化研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:
刘浩雨
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浏览/下载:38/0
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提交时间:2022/07/01
IgG
外泌体
糖基
自组装膜
成像椭偏生物传感技术
基于时域/空间相位调制的偏光测量技术研究
学位论文
OAI收割
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2008
作者:
杨坤
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/28
偏光测量技术
椭偏测量技术
1/4波片
光弹调制
同步移相
双菱体λ/4消色差相位延迟器的设计
期刊论文
OAI收割
光子学报, 2008, 卷号: 37, 期号: 1, 页码: 136, 139
薄锋
;
朱健强
;
康俊
;
陈刚
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浏览/下载:1530/392
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提交时间:2009/09/18
激光技术
椭偏法
菲涅尔反射
λ/4消色差相位延迟器
双菱体
Birhomb
Fresnel reflection
Lambda/4 achromatic phase retarder
Laser technique
Total reflection phase transformation
高密度等离子刻蚀机中的等离子体诊断技术
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 1, 页码: 5,13-17
作者:
刘明
;
王巍
;
叶甜春
;
李兵
;
陈大鹏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2010/05/26
等离子体诊断技术
朗格谬尔探针
发射光谱法:激光诱导荧光法
光谱椭偏法
质谱法
光学薄膜中界面层和表面吸附层对相位延迟的影响
期刊论文
OAI收割
红外与毫米波学报, 2005, 卷号: 24, 期号: 2, 页码: 105, 108
黄建兵
;
邵建达
;
范正修
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浏览/下载:1494/444
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提交时间:2009/09/22
界面层
interface layer
表面吸附层
surface adhension layer
相位延迟
phase shift
光学薄膜
fitting
介质反射镜
分光光度计
过渡层
优化设计
溅射技术
相位特性
光谱特性
工作特性
变化情况
误差分析
厚度误差
反射率
折射率
相移
正入射
偏振态
层模型
入射角
延迟膜
离子束
椭偏仪
不均匀
离子源
膜层
制备
测试
外层
表面等离子体共振椭偏技术高精度表征超薄膜层光学常数
学位论文
OAI收割
作者:
单尧
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浏览/下载:67/0
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提交时间:2018/12/26
椭偏技术
Ellipsometry
表面等离子体共振
Surface plasmon resonance (SPR)
光学常数
Optical constants
超薄薄膜
Ultrathin films
大视场成像椭偏仪及其应用研究
学位论文
OAI收割
作者:
谷利元
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浏览/下载:37/0
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提交时间:2018/12/26
成像椭偏仪,大视场,测量技术,超薄金属薄膜,厚度参数,表面等离子体共振
Imaging Ellipsometer,Large field of view,Measuring technology,Ultra-thin metal film,Thickness parameter,Surface Plasmon Resonance
表面等离子体共振椭偏技术高精度表征超薄膜层光学常数
学位论文
OAI收割
作者:
单尧
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2018/12/26
椭偏技术
Ellipsometry
表面等离子体共振
Surface plasmon resonance (SPR)
光学常数
Optical constants
超薄薄膜
Ultrathin films