机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 磁悬浮纳米级步进扫描工作台CAD/CAE设计研究 期刊论文  OAI收割 机械设计与研究, 2004, 期号: 01, 页码: 77-80+9 王延风; 卢志山; 宋文荣; 田兴志; 何惠阳 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/03/11 CAD/CAE  磁悬浮  光刻  定位精度  有限元方法  电磁场分析  模态分析和测试