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离子束增强沉积法制备二氧化铪薄膜 期刊论文  OAI收割
半导体技术, 2006, 期号: 03
陶凯; 俞跃辉; 郑智宏; 邹世昌
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/01/06