机构

• 长春光学精密机械与物... [2]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 期刊论文 [2]

发表日期

• 2016 [1]
• 2005 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 大行程纳米级定位工作台的结构设计 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2016, 期号: 5, 页码: 1065-1071 作者:  陈琦 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2017/09/17 扫描干涉光刻系统  高精度工作台  气体静压导轨  摩擦驱动  纳米级定位   二元光学激光直写设备高精度传动系统的研究 期刊论文  OAI收割 仪器仪表学报, 2005, 期号: 03, 页码: 275-278 作者:  冯晓国 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2013/03/11 传动系统  气体静压导轨  定位精度