机构

• 长春光学精密机械与物... [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 成果 [1]

发表日期

• 1992 [1]

学科主题

筛选

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 大刚度超精密1:1扫描投影光刻机气浮工件台 成果  OAI收割 长春市优秀成果奖: 一等奖, 1992 主要完成人:  徐宏 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2014/11/24 气浮工作台  投影光刻机