机构

• 金属研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2012 [1]
• 1999 [1]

学科主题

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序 PECVD裂解SiCl4低温快速沉积氢化纳米晶硅薄膜的研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院金属研究所, 2012 张林 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2013/04/12 等离子体增强化学气相沉积法  氢化纳米硅薄膜  微观结构  PECVD  nc-Si:H film  microstructure   PECVD生长nc—Si：H膜的掺杂特性研究 期刊论文  OAI收割 河北大学学报, 1999, 卷号: 19, 期号: 3, 页码: 5,233-237 作者:  刘明;  彭英才   |  收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/05/25 显微结构  电导率  氢化  纳米硅  薄膜  Pecvd