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• 上海微系统与信息技术... [1]

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• 会议论文 [1]

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• 2004 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 氧氮共注入提高SIMOX材料抗辐射性能研究 会议论文  OAI收割 上海市有色金属学会、上海市金属学会半导体材料专委会学术年会, 2004 张恩霞; 钱聪; 张正选; 王曦; 张国强; 李宁; 郑中山; 刘忠立 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2012/01/18 氧氮共注 离子注入 辐照加固 半导体器件