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合肥物质科学研究院 [1]
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氮化硅钝化膜的制备和应用
期刊论文
OAI收割
量子电子学报, 2005, 卷号: 022
作者:
陈俊芳
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吴先球
;
樊双利
;
王鑫
;
任兆杏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2020/11/25
光电子学
ECR—PECVD
氮化硅钝化膜
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