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长春光学精密机械与物... [2]
工程热物理研究所 [2]
光电技术研究所 [1]
上海技术物理研究所 [1]
采集方式
OAI收割 [6]
内容类型
期刊论文 [3]
会议论文 [2]
学位论文 [1]
发表日期
2017 [1]
2016 [1]
2015 [3]
2013 [1]
学科主题
化学反应动力学 [1]
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浏览/检索结果:
共6条,第1-6条
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离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响
期刊论文
OAI收割
激光与光电子学进展, 2017, 期号: 10, 页码: 463-468
作者:
冯毅东
;
秦杨
;
于天燕
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浏览/下载:32/0
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提交时间:2018/11/20
薄膜
光学特性
离子束辅助沉积
硫化锌薄膜
非均匀性
折射率
离子束溅射制备GdF_3光学薄膜沉积速率分布特性
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2016, 期号: 3, 页码: 356-363
作者:
张立超
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2017/09/17
离子束溅射
光学薄膜
沉积速率
二维拟合
膜厚均匀性
大面积高质量中阶梯光栅厚铝膜特性和制备工艺研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院大学, 2015
作者:
孙梦至
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浏览/下载:93/0
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提交时间:2016/04/11
中阶梯光栅
高质量铝膜
大面积均匀性
多步沉积
GaN生长均匀性结合化学反应动力学研究
会议论文
OAI收割
2015年中国工程热物理学会燃烧学学术年会, 2015
作者:
郑江
;
蒋志敏
;
方海生
收藏
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浏览/下载:25/0
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提交时间:2015/12/31
金属有机物气相沉积
GaN生长均匀性
化学反应动力学
反应器结构
工艺参数
离子束辅助沉积大口径光学薄膜
期刊论文
OAI收割
红外与激光工程, 2015, 卷号: 43, 期号: S1, 页码: 183-188
作者:
艾万君
;
熊胜明
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浏览/下载:50/0
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提交时间:2016/11/21
离子辅助沉积
高真空镀膜设备
大口径光学薄膜
光学特性
膜厚均匀性
荷电双流体喷雾射流沉积均匀性的实验研究
会议论文
OAI收割
中国工程热物理学会-多相流, 2013
王军锋
;
姚江
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浏览/下载:30/0
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提交时间:2013/11/28
双流体雾化
沉积均匀性
变异系数
荷电电压