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亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  杨超
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光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
  |  收藏  |  浏览/下载：114/0  |  提交时间：2020/08/24
反射式激光共聚焦显微镜性能变尺度评价方法 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2019, 卷号: 48, 期号: 03, 页码: 203-208
作者:  王方雨;  孙强;  戴明;  刘昕辉;  王成
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2020/08/24
基于扫描哈特曼的大口径空间光学系统检测技术 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  魏海松
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/09/23
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
  |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2019/09/23
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文  OAI收割
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
  |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/09/17
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文  OAI收割
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑
  |  收藏  |  浏览/下载：80/0  |  提交时间：2018/04/09
大口径非球面透镜支撑方法的优化 期刊论文  OAI收割
激光与光电子学进展, 2017, 卷号: 54, 期号: 1, 页码: 219-225
作者:  朱星申;  宫雪非
  |  收藏  |  浏览/下载：48/0  |  提交时间：2018/01/04
重力对空间相机系统波像差影响的光机集成分析与验证 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2016, 期号: 8, 页码: 1917-1926
作者:  陈长征;  董得义;  李志来;  薛栋林;  张学军
  |  收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2017/09/17
R-C光学系统的计算机辅助装调 期刊论文  OAI收割
红外与激光工程, 2016, 期号: 3, 页码: 183-188
作者:  苏东风;  刘波;  丁亚林;  贾继强;  张雷
  |  收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2017/09/17