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机构
长春光学精密机械与物... [2]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [2]
学科主题
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浏览/检索结果:
共2条,第1-2条
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光纤点衍射干涉仪波面参考源研究
学位论文
OAI收割
硕士: 中国科学院大学, 2014
代晓珂
收藏
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浏览/下载:47/0
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提交时间:2015/05/03
光学检测
极紫外光刻
波面参考源
偏振控制
点衍射干涉仪波面参考源误差及公差分析
期刊论文
OAI收割
中国光学, 2014, 期号: 5, 页码: 855-862
作者:
金春水
;
于杰
收藏
|
浏览/下载:25/0
|
提交时间:2015/04/17
光学检测
点衍射干涉仪
波面参考源
误差研究
公差分析
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