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• 上海微系统与信息技术... [2]

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• OAI收割 [2]

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• 学位论文 [2]

发表日期

• 2003 [1]
• 2002 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 低剂量超薄SIMOX圆片制备技术的应用研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2003 王湘   收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅(SOI)  注氧隔离(SIMOX)  埋层(BOX)  退火  正电子湮没     水等离子体离子注入形成SOI结构材料的研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2002 陈静   收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/03/06 绝缘体上的硅（SOI）  离子注入  等离子体  注氧隔离（SIMOX）