机构

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采集方式

• OAI收割 [5]

内容类型

• 期刊论文 [4]
• 学位论文 [1]

发表日期

• 2016 [1]
• 2007 [1]
• 2006 [1]
• 2005 [1]
• 2004 [1]

学科主题

• 光栅 [1]

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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文  OAI收割 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  沈丽娜 收藏  |  浏览/下载：206/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  矢量成像模型  偏振像差  泡利-泽尼克系数  偏振像差检测   二次光栅在波前测量中的应用 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2007, 卷号: 27, 期号: 1, 页码: 1, 4 周素梅; 周常河 收藏  |  浏览/下载：1384/149  |  提交时间：2009/09/18 衍射与光栅  二次光栅  波前测量  泽尼克系数  diffraction and gratings  quadratic grating  wavefront measurement  Zernike coefficient   基于双线空间像线宽不对称度的彗差测量技术 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2006, 卷号: 26, 期号: 5, 页码: 673, 678 王帆; 王向朝; 马明英; 张冬青; 施伟杰 收藏  |  浏览/下载：1468/362  |  提交时间：2009/09/18 光学测量  光刻  像差  投影物镜  成像质量  泽尼克系数   利用离轴三反镜光学系统确定各镜的装调公差 期刊论文  OAI收割 光学技术, 2005, 期号: 02, 页码: 173-176 杨晓飞; 韩昌元 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2013/03/11 离轴三反镜光学系统  公差  条纹泽尼克系数  赛德尔像差   用像差逐项优化法装调离轴三反射镜光学系统 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2004, 期号: 01, 页码: 115-120 杨晓飞; 张晓辉; 韩昌元 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2013/03/11 应用光学  计算机辅助装调  像差逐项优化  泽尼克系数