机构

• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2005 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 等离子体刻蚀过程的APC技术研究进展 期刊论文  OAI收割 半导体技术, 2005, 卷号: 30, 期号: 12, 页码: 4，1-4 作者:  刘明;  王巍;  叶甜春;  陈大鹏   |  收藏  |  浏览/下载：31/0  |  提交时间：2010/05/26 等离子体刻蚀  先进过程控制  实时控制  流程与流程控制