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	五棱镜扫描法在光束平行性检测和镜面面形检测中的应用学位论文 OAI收割北京: 中国科学院大学, 2021 作者: 华志远 \| 收藏 \| 浏览/下载：36/0 \| 提交时间：2021/09/23 光学测量大口径光束平行性镜面面形五棱镜扫描法
	基于非线性优化方法的离轴非球面轮廓测量面形恢复技术期刊论文 OAI收割光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 12, 页码: 192-200 作者: 类维政; 袁吕军; 康燕; 苏志德 \| 收藏 \| 浏览/下载：51/0 \| 提交时间：2021/03/29 离轴非球面轮廓测量面形恢复非线性优化光学镜面制造
	扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测期刊论文 OAI收割中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者: 刘兆武; 李文昊; 巴音贺希格; 宋莹; 姜珊 \| 收藏 \| 浏览/下载：22/0 \| 提交时间：2018/04/09 测量光检测技术二维工作台测量镜面形光栅激光干涉仪
	斜入射法检测平面反射镜面形的研究学位论文 OAI收割硕士: 中国科学院研究生院, 2011 马春桃收藏 \| 浏览/下载：52/0 \| 提交时间：2012/08/15 测量镜面面形斜入射法斜率误差
	Wolter Ⅰ型反射镜面形检测装置的改进期刊论文 OAI收割光学学报, 2011, 期号: 04, 页码: 140-145 作者: 张宏吉; 陈波收藏 \| 浏览/下载：6/0 \| 提交时间：2013/03/11 测量 WolterI型反射镜面形表面轮廓扫描倾斜度误差位置敏感探测器
	斜入射法检测平面反射镜的面形误差期刊论文 OAI收割激光与光电子学进展, 2011, 期号: 7, 页码: 88-93 马春桃; 罗红心; 王劼; 宋丽收藏 \| 浏览/下载：26/0 \| 提交时间：2013/09/11 测量镜面面形斜入射法 ZYGO干涉仪斜率误差