机构

• 高能物理研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [1]

内容类型

• 期刊论文 [1]

发表日期

• 1995 [1]

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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 X射线镂空硅掩模在同步辐射X射线深层光刻中的应用 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 1995, 期号: 3, 页码: 176-178 作者:  孙宝银;  陈梦真;  朱樟震;  伊福廷 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2015/12/25 镂空硅掩模  X射线  深层光刻  同步辐射