机构

• 电子学研究所 [1]
• 上海微系统与信息技术... [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2013 [1]
• 2008 [1]

学科主题

• 传感器 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 谐振式微型电场传感器制作工艺研究 学位论文  OAI收割 硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2013 刘伟 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2013/06/09 谐振式  绝缘体上硅  微型电场传感器  聚酰亚胺  深度反应离子刻蚀   基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计 期刊论文  OAI收割 上海交通大学学报, 2008, 期号: 02 张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2012/01/06 体硅工艺  深度反应离子刻蚀  背片技术  面内侧面压阻  纳米级定位平台