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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 高重复频率脉冲激光去除低热导率涂漆 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2019, 卷号: 46, 期号: 1, 页码: 148-156 作者:  张志研[1,2,3];  王奕博[2];  梁浩[2];  赵树森[2];  林学春[2]   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2021/05/06 激光技术  激光清洗  烧蚀气化  高重复频率  涂漆   一种灯泵Nd：YAG四波长激光清洗机的光路控制系统设计 期刊论文  OAI收割 量子电子学报, 2018, 卷号: 035 作者:  查根胜;  孟献囯;  贾先德;  郭强;  范一松   |  收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2020/11/25 激光技术  激光清洗机  四波长  光路控制   极紫外光刻机多层膜反射镜表面碳污染的清洗 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2017, 页码: 2835-2844 作者:  宋源;  卢启鹏;  龚学鹏;  王依;  彭忠琦   |  收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/04/09 极紫外光刻机  碳污染  清洗技术  多层膜反射镜   碳污染清洗工艺对极紫外光刻光学元件反射率的影响 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2017, 页码: 170-175 作者:  王依;  卢启鹏;  高云国   |  收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2018/04/09 薄膜  极紫外光刻  碳污染  清洗技术  反射率   绿色新星——超临界二氧化碳无损清洗设备 期刊论文  OAI收割 科技创新与品牌, 2009, 期号: 11, 页码: 2，32-33 作者:  中国科学院微电子研究所超临界技术课题组   |  收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2010/06/01 清洗设备  二氧化碳  临界  清洗技术 表面张力  半导体  极性分子  二次污染   中国科学院生态环境研究中心超滤技术与设备课题取得显著成果 期刊论文  OAI收割 环境污染治理技术与设备, 2001, 卷号: 1, 期号: 5, 页码: 66 姜建华; 杨克武 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2015/06/09 超滤技术  超滤设备  膜清洗  膜组件  反冲洗  回用率  零排放  污染治理  回收利用  中空纤维超滤膜   聚变装置中的真空问题 期刊论文  OAI收割 真空科学与技术, 1982, 期号: 2, 页码: 102-108 作者:  程渭纶 收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2015/12/14 托卡马克装置  放电清洗  等离子体电流  抽气设备  真空室  密封结构  解吸率  偏滤器  真空技术  受控核聚变