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采集方式
OAI收割 [236]
内容类型
期刊论文 [150]
学位论文 [55]
会议论文 [30]
成果 [1]
发表日期
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共236条,第1-10条
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氮含量对(BCSiAlCr)N_(x)薄膜结构和耐腐蚀性能的影响
期刊论文
OAI收割
真空与低温, 2023, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 28-35
作者:
闫巨擘
;
赖振国
;
张斌
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提交时间:2023/12/07
磁控溅射
耐腐蚀性能
硬度
(BCSiAlCr)Nx薄膜
力学性能
溅射/液相合成制备MoS2复合薄膜的结构与摩擦学性能研究
学位论文
OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:
董春萌
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提交时间:2023/10/10
溅射MoS2薄膜,液相合成,悬键,纳米颗粒,摩擦学性能
脉冲频率对HiPIMS制备TiN薄膜组织和力学性能的影响
期刊论文
OAI收割
中国表面工程, 2022, 卷号: 35, 期号: 5, 页码: 192-199
作者:
高海洋
;
张斌
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2023/12/08
高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)
脉冲频率
TiN薄膜
微观组织
力学性能
基底的晶向和氧化层厚度对坡莫合金薄膜的影响
期刊论文
OAI收割
真空科学与技术学报, 2021, 卷号: 41, 期号: 10, 页码: 941-945
作者:
冯润东
;
张文伟
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提交时间:2022/03/10
各向异性磁电阻
NiFe薄膜
基底
磁控溅射
X射线衍射
Ti掺杂MoS2薄膜的抗氧化性和电学性能
期刊论文
OAI收割
材料研究学报, 2020, 卷号: 35, 期号: 2, 页码: 59-64
作者:
谢明玲
;
张广安
;
史鑫
;
谭稀
;
高晓平
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2021/12/08
材料科学基础学科
MoS2薄膜
磁控溅射
抗氧化性
电学性能
Mn-Co-Ni-(Mg/Al)-O系热敏薄膜的磁控共溅射法制备及其电学性能研究
学位论文
OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
轩婷婷
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提交时间:2020/11/19
磁控共溅射
热敏薄膜
溅射功率
阳离子分布
电学性质
基于磁控溅射法的尖晶石型湿敏薄膜的制备与研究
学位论文
OAI收割
中国科学院新疆理化技术研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
阿龙嘎
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浏览/下载:41/0
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提交时间:2020/11/19
薄膜
湿度传感器
磁控溅射
快速响应
陶瓷
Mo/Si多层膜表面粗糙度相关镀膜工艺的研究
期刊论文
OAI收割
光学学报, 2020, 卷号: 40, 期号: 10, 页码: 196-202
作者:
孙诗壮
;
金春水
;
喻波
;
郭涛
;
姚舜
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提交时间:2021/07/06
薄膜
Mo/Si多层膜
极紫外光刻
磁控溅射
表面粗糙度
功率谱密度
磁控溅射法制备FeCrAlY薄膜表征及其在高温水环境中的抗腐蚀性能研究
期刊论文
OAI收割
表面技术, 2020, 卷号: 49.0, 期号: 1.0, 页码: 72-78
作者:
崔勇
;
李长记
;
李静
;
熊良银
;
刘实
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提交时间:2021/02/02
磁控溅射法
锆合金
铁铬铝钇薄膜
高温水蒸气环境
氧化铝膜
腐蚀性能
用于高集成光谱技术的多层楔形薄膜滤光片研究
学位论文
OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:
唐昊龙
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提交时间:2020/08/24
光学薄膜
高集成光谱探测
楔形薄膜
膜系设计
离子束溅射