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金属研究所 [1]
宁波材料技术与工程研... [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2016 [1]
1997 [1]
学科主题
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共2条,第1-2条
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ZnO/SnO_2气体传感器的喷墨打印制备及其性能研究
期刊论文
OAI收割
稀有金属材料与工程, 2016, 卷号: 45, 期号: S1, 页码: 42562
熊丹
;
沈文锋
;
黄琦金
;
庄福强
;
谭瑞琴
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提交时间:2016/09/18
溶胶-凝胶
喷墨打印
ZnO/SO2
气敏薄膜
脉冲激光溅射SnO2气敏膜 ̄①
期刊论文
OAI收割
云南大学学报(自然科学版), 1997, 期号: 1, 页码: 66-68
赵岩,冯钟潮,梁勇
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提交时间:2012/04/12
脉冲激光溅射
SnO2
气敏膜分类号TN304.21薄膜型传感器易于微型化
集成化
同半导体技术结合起来
制成性能稳定
低能耗
强功能的气敏器件
是气敏传感器的发展方向之一。制作薄膜气敏器件的关键技术之一是薄膜的生长技术。现在采用的有:蒸发法
溅射法
溶胶-凝胶(SO