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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 硬脆晶体材料超快激光精密加工技术研究 学位论文  OAI收割 北京: 中国科学院大学, 2024 作者:  刘莉莉   |  收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2024/07/15 薄片增益器件  激光切片  热沉微结构加工  像差校正   光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2017, 页码: 302-310 作者:  东立剑;  崔庆龙;  李朋志;  赵磊   |  收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2018/04/09 光学设计  光刻物镜  热像差  主动光学  像散  响应函数   深紫外光刻投影物镜温度特性研究 期刊论文  OAI收割 中国激光, 2016, 期号: 5, 页码: 276-285 作者:  姚长呈;  巩岩   |  收藏  |  浏览/下载：24/0  |  提交时间：2017/09/17 光学制造  光刻投影物镜  温度分布模型  仿真分析  热像差   主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文  OAI收割 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016 作者:  周超 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2016/12/30 光刻，主动光学，热像差，Zernike 多项式，自由曲面   光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者:  巩岩;  姚长呈   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/09/17 光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散   光刻投影物镜恒温水套小比例模型的设计与性能测试 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2016, 期号: 8, 页码: 146-151 作者:  彭海峰;  于新峰;  秦硕 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/09/17 测量  投影物镜  恒温水套  热像差  温度测试   精密光学系统的热像差 期刊论文  OAI收割 光学精密工程, 2015, 期号: 11, 页码: 3033-3040 作者:  张巍 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2016/07/06 精密光学系统  激光辐照  投影光刻物镜  热像差   同轴两反式高NA投影光刻物镜热像差补偿方法研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2015, 期号: 10, 页码: 111-118 作者:  徐象如;  黄玮;  贾树强;  徐明飞 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2016/07/06 成像系统  投影光刻物镜  热像差  元件位移  分区加热   大型空间相机出瞳镜精密调整结构设计与分析 学位论文  OAI收割 硕士: 中国科学院大学, 2015 作者:  袁健 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2016/04/11 空间相机  出瞳调整结构  变形镜  重力变形  热变形  柔性结 构  空间环境适应性  像差校正能力   基于小物镜系统的热像差影响因素分析 期刊论文  OAI收割 激光与光电子学进展, 2014, 期号: 9, 页码: 201-208 作者:  周连生;  张巍;  芮大为;  吴志会;  于新峰 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2015/04/17 光学设计  光机热集成分析  热像差  有限元法  Zernike多项式  折射率均匀性  热载