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• 长春光学精密机械与物... [2]

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• 期刊论文 [2]

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• 2016 [1]
• 2014 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 光刻物镜中主动透镜的变形和像差特性 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2016, 期号: 4, 页码: 261-268 作者:  巩岩;  姚长呈   |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2017/09/17 光学设计  主动光学  光刻物镜  热像差补偿  像散   光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文  OAI收割 光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142 作者:  田伟;  章明朝;  隋永新;  苏东奇;  杨怀江 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2015/04/17 成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜