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氢氧复合注入对SOI-SIMOX埋层结构影响的研究 期刊论文  OAI收割
功能材料与器件学报, 2003, 期号: 01
易万兵; 陈猛; 陈静; 王湘; 刘相华; 王曦
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/01/06