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红外探测材料与器件 [1]
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飞剪帆船、竞速帆船和波形线理论
期刊论文
OAI收割
物理, 2017, 卷号: 46, 期号: 07, 页码: 460-461
作者:
李进平
;
刘云峰
;
Larrie D.Ferreiro
;
Alexander Pollara
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提交时间:2017/12/22
弗劳德
航行速度
飞剪
物理规律
竞速
英国工程师
相似律
兴波阻力
工程师们
斯科特
基于原子尺度模拟的非晶态固体变形物理
会议论文
OAI收割
第十三届全国物理力学学术会议, 中国湖南湘潭, 2014-10-17
作者:
王云江
;
张猛
;
戴兰宏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2015/07/01
非晶态固体
原子尺度
金属玻璃
物理规律
原子排列
过渡态理论
晶体材料
计算机模拟
短程有序
点缺陷
纳米薄膜结构的热弹性振动
会议论文
OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:
王志乔
;
赵亚溥
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2014/04/02
纳米薄膜
弹性振动
力学行为
加载条件
振动规律
界面应力
残余应力
连续介质力学
热弹性
表面能
理论意义
环境温度
物理机制
应用前景:振动响应:改变的:0
基于欧拉方法的减阻沟槽壁面湍流涡结构的辨识
会议论文
OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:
姜楠
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浏览/下载:55/0
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提交时间:2014/04/02
壁面湍流
沟槽
欧拉方法
减阻
涡结构
线性随机
边界层
使用准则
估计方法
演化规律
统计特征
角度分析:物理机理:进一步:0
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
γ射线暴的时变分析
期刊论文
OAI收割
天文学进展, 2004, 期号: 3, 页码: 245-261
作者:
宋黎明
;
申荣锋
;
雷亚娟
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提交时间:2015/12/15
天体物理学
γ射线暴
综述
数据分析
时变规律
光度
大气中微子的反常与超神冈的新成果
期刊论文
OAI收割
现代物理知识, 1999, 期号: 1, 页码: 14-16+13
作者:
戴长江
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提交时间:2015/12/15
静止质量
天顶角
靶核
基本粒子理论
质子衰变
量能器
物理规律
混合角
产额
角分布
幸福就是完成使命
期刊论文
OAI收割
科技潮, 1999, 期号: 10, 页码: 7
作者:
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提交时间:2015/12/07
说不尽
国防建设
物质结构
周期长
学科综合
运动规律
高能物理研究
使人
速调管
应用领域
国家自然科学基金委员会数理科学部“筹划未来,努力创新攀高峰”座谈会发言选登(Ⅲ)
期刊论文
OAI收割
物理, 1997, 期号: 05
罗亦孝
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提交时间:2011/09/23
国家自然科学基金委员会:7037
数理科学:4008
核物理:3724
基础研究:2618
努力创新:2314
基本规律:1395
座谈会:1327
粒子物理:1294
量子色动力学:1280
国家目标:1136
大柴旦盐湖的物理化学条件
期刊论文
OAI收割
盐湖研究, 1995, 期号: 3, 页码: 16-22
作者:
高世扬
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提交时间:2012/12/18
大柴旦盐湖
物理化学条件
四边形规律