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飞剪帆船、竞速帆船和波形线理论 期刊论文  OAI收割
物理, 2017, 卷号: 46, 期号: 07, 页码: 460-461
作者:  
李进平;  刘云峰;  Larrie D.Ferreiro;  Alexander Pollara
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2017/12/22
基于原子尺度模拟的非晶态固体变形物理 会议论文  OAI收割
第十三届全国物理力学学术会议, 中国湖南湘潭, 2014-10-17
作者:  
王云江;  张猛;  戴兰宏
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2015/07/01
纳米薄膜结构的热弹性振动 会议论文  OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:  
王志乔;  赵亚溥
收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2014/04/02
基于欧拉方法的减阻沟槽壁面湍流涡结构的辨识 会议论文  OAI收割
中国力学大会——2013, 中国北京, 2013-08-19
作者:  
姜楠
收藏  |  浏览/下载:55/0  |  提交时间:2014/04/02
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
γ射线暴的时变分析 期刊论文  OAI收割
天文学进展, 2004, 期号: 3, 页码: 245-261
作者:  
宋黎明;  申荣锋;  雷亚娟
收藏  |  浏览/下载:12/0  |  提交时间:2015/12/15
大气中微子的反常与超神冈的新成果 期刊论文  OAI收割
现代物理知识, 1999, 期号: 1, 页码: 14-16+13
作者:  
戴长江
收藏  |  浏览/下载:79/0  |  提交时间:2015/12/15
幸福就是完成使命 期刊论文  OAI收割
科技潮, 1999, 期号: 10, 页码: 7
作者:  
收藏  |  浏览/下载:14/0  |  提交时间:2015/12/07
国家自然科学基金委员会数理科学部“筹划未来,努力创新攀高峰”座谈会发言选登(Ⅲ) 期刊论文  OAI收割
物理, 1997, 期号: 05
罗亦孝
  |  收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2011/09/23
大柴旦盐湖的物理化学条件 期刊论文  OAI收割
盐湖研究, 1995, 期号: 3, 页码: 16-22
作者:  
高世扬
收藏  |  浏览/下载:15/0  |  提交时间:2012/12/18