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线扫式光谱共焦位移传感器关键技术研究 学位论文  OAI收割
北京: 中国科学院大学, 2024
作者:  杨伟光 
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亚微米投影光刻物镜设计及像质补偿研究 学位论文  OAI收割
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2022
作者:  杨超
  |  收藏  |  浏览/下载：99/0  |  提交时间：2022/10/08
高时空分辨率动态星模拟器设计 期刊论文  OAI收割
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 03, 页码: 515-525
作者:  李成浩;  何煦;  姬琪;  张晓辉;  李宁
  |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2021/07/06
投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  赵磊
  |  收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
  |  收藏  |  浏览/下载：115/0  |  提交时间：2020/08/24
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
  |  收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2020/08/24
共聚焦激光扫描显微系统光学设计 期刊论文  OAI收割
光学仪器, 2018, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 65-74
作者:  肖海东;  吴永前
  |  收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2019/08/23
LED微投影系统设计与红光LED微显示阵列的制作研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  冯思悦
  |  收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2019/09/23
投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文  OAI收割
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  周泽龙
  |  收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/09/23
光学元件狭缝柔性调节机构的设计与分析 期刊论文  OAI收割
中国光学, 2017, 页码: 790-797
作者:  董世则;  郭抗;  李显凌;  陈华男;  张德福
  |  收藏  |  浏览/下载：29/0  |  提交时间：2018/04/09