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红外探测材料与器件 [1]
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共27条,第1-10条
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β-Ga_2O_3单晶制备工艺的研究进展
期刊论文
OAI收割
功能材料, 2021, 卷号: 52, 期号: 01, 页码: 1070-1077
作者:
陈博利
;
杨依帆
;
冷国琴
;
黄朝晖
;
孙峙
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提交时间:2023/06/08
Β-ga_2o_3
宽禁带半导体
单晶生长
制备工艺
甲壳素/壳寡糖的生物法制备及其对凡纳滨对虾的促生长作用研究
学位论文
OAI收割
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:
刘勇亮
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提交时间:2020/06/15
甲壳素/壳寡糖
生物制备方法
水产养殖应用
凡纳滨对虾
促生长作用
三维纳米铁氧化物、其凝胶原位制备方法及其应用
专利
OAI收割
专利号: CN108439478A, 申请日期: 2018-08-24, 公开日期: 2018-08-24
作者:
庄媛
;
石宝友
;
孔岩
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提交时间:2019/11/27
1.一种三维纳米铁氧化物的凝胶原位制备方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1,将水溶性高分子和铁盐溶于水中,得到混合溶液
其中,所述水溶性高分子优选为聚乙烯醇、明胶或琼脂
步骤2,将步骤1得到的混合溶液加热,得到水溶性高分子模板原位生长有序分级的纳米铁氧化物
步骤3,将步骤2得到的产物反复冷解冻,即得到水溶性高分子模板原位生长并凝胶固定的三维纳米铁氧化物复合凝胶。
纳米材料制备及物性测量的虚拟过程工程初探
期刊论文
OAI收割
计算机与应用化学, 2016, 期号: 9, 页码: "1003-1007"
作者:
侯超峰
;
高国贤
;
徐骥
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提交时间:2017/05/31
纳米材料
生长制备
热力学性质
虚拟过程工程
计算机仿真
快速膜乳化法制备载生长激素释放肽-6的PLGA微球
期刊论文
OAI收割
过程工程学报, 2013, 期号: 03, 页码: 458-465
何帆
;
齐峰
;
吴颉
;
苏志国
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2014/08/27
快速膜乳化
聚(乳酸-羟基乙酸)微球
粒径均一
生长激素释放肽-6
初乳制备方式
高密度糖基化表面的构建
会议论文
OAI收割
2011年全国高分子学术论文报告会, 大连, 2011-09-24
宋万通
;
肖春生
;
崔立国
;
汤朝晖
;
庄秀丽
;
陈学思
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提交时间:2012/06/27
结品过程
颗粒制备
结晶过程控制
结晶生长的化学键合理论
铝镁酸钪的粉体合成与晶体生长
学位论文
OAI收割
硕士, 福建物质结构研究所: 中国科学院福建物质结构研究所, 2009
周海涛
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提交时间:2013/05/09
铝镁酸钪
衬底
粉体制备
晶体生长
晶体结构
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究
学位论文
OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:
宁锦华
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提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作
探测率高等优点
Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究
重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器
通过最终性能的比较
评价得出较好的台面成型方式
为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性
侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉
铟基材料的刻蚀需要对样品加热
在此温度下
光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说
采用pecvd生长sinx
选择边缘平整的光刻板
用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒
可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物
但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器
平均刻蚀速率过快
同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离
提高刻蚀速率
相比较ar气
N2的物理轰击力小
对材料造成的损伤小
同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx
在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型
能得到刻蚀速率稳定可控
刻蚀后的表面光洁无残留物
图形保真度好。在不同的直流偏压
Icp功率
气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型
并从刻蚀速率
刻蚀垂直度
刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上
找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下
Icp具有图形保真度好
刻蚀速率稳定可控的优点
因而更适用于ingaas探测器的工程制作
特别在小光敏元探测器的制备中
Icp的优势将更明显。
单壁碳纳米管的生长原理、定向制备及其红外敏感性能研究
学位论文
OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
饶伏波
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提交时间:2012/03/06
单壁碳纳米管
定向制备
生长原理
红外敏感
VLS
多壁碳纳米管的制备及其生长机理研究
学位论文
OAI收割
博士, 过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2008
崔彦斌
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提交时间:2013/09/13
多壁碳纳米管
制备
生长机理