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浏览/检索结果: 共27条,第1-10条 帮助

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β-Ga_2O_3单晶制备工艺的研究进展 期刊论文  OAI收割
功能材料, 2021, 卷号: 52, 期号: 01, 页码: 1070-1077
作者:  
陈博利;  杨依帆;  冷国琴;  黄朝晖;  孙峙
  |  收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2023/06/08
甲壳素/壳寡糖的生物法制备及其对凡纳滨对虾的促生长作用研究 学位论文  OAI收割
中国科学院海洋研究所: 中国科学院大学, 2020
作者:  
刘勇亮
  |  收藏  |  浏览/下载:34/0  |  提交时间:2020/06/15
三维纳米铁氧化物、其凝胶原位制备方法及其应用 专利  OAI收割
专利号: CN108439478A, 申请日期: 2018-08-24, 公开日期: 2018-08-24
作者:  
庄媛;  石宝友;  孔岩
  |  收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2019/11/27
纳米材料制备及物性测量的虚拟过程工程初探 期刊论文  OAI收割
计算机与应用化学, 2016, 期号: 9, 页码: "1003-1007"
作者:  
侯超峰;  高国贤;  徐骥
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2017/05/31
快速膜乳化法制备载生长激素释放肽-6的PLGA微球 期刊论文  OAI收割
过程工程学报, 2013, 期号: 03, 页码: 458-465
何帆; 齐峰; 吴颉; 苏志国
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2014/08/27
高密度糖基化表面的构建 会议论文  OAI收割
2011年全国高分子学术论文报告会, 大连, 2011-09-24
宋万通; 肖春生; 崔立国; 汤朝晖; 庄秀丽; 陈学思
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/06/27
铝镁酸钪的粉体合成与晶体生长 学位论文  OAI收割
硕士, 福建物质结构研究所: 中国科学院福建物质结构研究所, 2009
周海涛
收藏  |  浏览/下载:87/0  |  提交时间:2013/05/09
短波红外InGaAs探测器的台面成型技术研究 学位论文  OAI收割
: 中国科学院研究生院, 2009
作者:  
宁锦华
  |  收藏  |  浏览/下载:30/0  |  提交时间:2012/08/22
由于ingaas 短波红外探测器具有可以室温工作  探测率高等优点  Ingaas线列红外焦平面在国外已经成功用于空间遥感。本论文主要围绕台面结构的ingaas探测器制备的台面成型工艺展开研究  重点研究了感应耦合等离子体刻蚀(icp)台面成型工艺。同时利用不同的台面成型方式制备ingaas探测器  通过最终性能的比较  评价得出较好的台面成型方式  为ingaas红外焦平面的研制提供工艺参考。取得结果如下:icp刻蚀中掩膜的材料致密性  侧壁粗糙度和垂直度等对刻蚀效果具有至关重要的影响。为了使刻蚀残留物挥发掉  铟基材料的刻蚀需要对样品加热  在此温度下  光刻胶掩膜会碳化。对于ingaas材料来说  采用pecvd生长sinx  选择边缘平整的光刻板  用sf6 Rie刻蚀sinx后用hf:nh4f:h2o为3:6:10的溶液常温腐蚀6秒  可以实现垂直光滑的刻蚀端面。ch4/cl2刻蚀铟基材料表面光洁无残留物  但对于制备2µm左右台面深度的延伸波长ingaas探测器  平均刻蚀速率过快  同时钻蚀略大了些。ar气和n2能加速cl2的分离  提高刻蚀速率  相比较ar气  N2的物理轰击力小  对材料造成的损伤小  同时在刻蚀过程中n2能和材料中的si发生反应生成sinx  在材料表面产生钝化。用cl2/n2作为刻蚀气体对ingaas探测器进行台面成型  能得到刻蚀速率稳定可控  刻蚀后的表面光洁无残留物  图形保真度好。在不同的直流偏压  Icp功率  气体总流量和气体组分等参数下进行台面成型  并从刻蚀速率  刻蚀垂直度  刻蚀表面粗糙度等几个方面对刻蚀质量做了评估和分析。在摸清铟基材料刻蚀规律的基础上  找到了可用于常规波长和延伸波长ingaas探测器制备的icp刻蚀参数。icp刻蚀与湿法腐蚀台面成型的八元台面器件具有相同的性能。但是在器件性能相当的情况下  Icp具有图形保真度好  刻蚀速率稳定可控的优点  因而更适用于ingaas探测器的工程制作  特别在小光敏元探测器的制备中  Icp的优势将更明显。  
单壁碳纳米管的生长原理、定向制备及其红外敏感性能研究 学位论文  OAI收割
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
饶伏波
收藏  |  浏览/下载:89/0  |  提交时间:2012/03/06
多壁碳纳米管的制备及其生长机理研究 学位论文  OAI收割
博士, 过程工程研究所: 中国科学院过程工程研究所, 2008
崔彦斌
收藏  |  浏览/下载:114/0  |  提交时间:2013/09/13