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微电子研究所 [1]
生态环境研究中心 [1]
采集方式
OAI收割 [2]
内容类型
专利 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2018 [1]
2008 [1]
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一种光电化学处理化学镀铜废水的方法
专利
OAI收割
专利号: CN108793311A, 申请日期: 2018-11-13, 公开日期: 2018-11-13
作者:
赵旭
;
张娟娟
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提交时间:2019/11/27
1.一种光电化学处理化学镀铜废水的方法,其特征在于,包括:将含有次磷和铜离子的废水放入光电反应器中,对所述含有次磷和铜离子的废水进行光电催化氧化和电还原,从而氧化所述废水中的次磷,同时回收所述废水中的金属铜。
Cu互连及其关键工艺技术研究现状
期刊论文
OAI收割
半导体技术, 2008, 卷号: 33, 期号: 5, 页码: 4,374-377
作者:
赵超荣
;
杜寰
;
刘梦新
;
韩郑生
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提交时间:2010/05/27
铜互连 阻挡层材料
电化学镀铜
化学机械抛光