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约束刻蚀剂层技术最新进展——用于规整微结构图形加工刻蚀 会议论文  OAI收割
《微米/纳米科学与技术》第5卷第1期, 2000
孙建军; 黄海苟; 田中群; 田昭武; 蒋利民; 罗瑾; 穆纪千; 叶雄英; 周兆英; 张涛; 孙立宁
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2012/01/18