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CF4预处理后热生长薄栅氧漏电流及势垒研究 期刊论文  OAI收割
半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 7, 页码: 3,1434-1436
作者:  
刘倜;  欧文
  |  收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2010/05/26