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• 光电技术研究所 [1]
• 微电子研究所 [1]

采集方式

• OAI收割 [2]

内容类型

• 学位论文 [1]
• 期刊论文 [1]

发表日期

• 2006 [1]
• 2000 [1]

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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 条数/页： 5101520253035404550556065707580859095100 排序方式： 请选择题名升序题名降序提交时间升序提交时间降序作者升序作者降序发表日期升序发表日期降序 电子束曝光机激光定位精密工件台测量系统研究 学位论文  OAI收割 硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2006 乔俊仙 收藏  |  浏览/下载：117/0  |  提交时间：2013/11/19 激光干涉仪  精密工件台  电子束曝光机  误差分析  误差补偿   电子束和接触式曝光机的匹配和混合曝光 期刊论文  OAI收割 功能材料与器件学报, 2000, 卷号: 6, 期号: 4, 页码: 4，416-419 作者:  刘明;  陈宝钦   |  收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/05/25 I－线光致抗蚀剂  电子束 接触式曝光机  混合曝光